在工業(ye)生產中,對(dui)于平(ping)面(mian)加熱過程,保證表(biao)面(mian)溫(wen)度分布的均勻性至(zhi)關重要。這一(yi)點(dian)(dian)對(dui)于確保產品質(zhi)量、提高生產效率至(zhi)關重要。而(er)紅外(wai)(wai)線加熱技(ji)術(shu)由于其高效、均勻、可控和(he)非接(jie)觸(chu)的特點(dian)(dian),成(cheng)為了解(jie)決平(ping)面(mian)加熱需求的理想(xiang)選(xuan)擇。在這一(yi)領域,LONGPRO公司推出了一(yi)系列創新技(ji)術(shu),旨在實現(xian)平(ping)面(mian)高均勻度的紅外(wai)(wai)加熱,從而(er)滿足(zu)不同行業(ye)的加熱需求。
LONGPRO的紅外線輻射加熱模(mo)塊通過優化熱源(yuan)燈絲內部發光(guang)體結構、反光(guang)板結構以及陣(zhen)列布燈,使得被(bei)加熱表面(mian)能(neng)夠接收(shou)到均(jun)勻(yun)的紅外輻射能(neng)量,從(cong)而(er)有效降低了(le)溫度不均(jun)勻(yun)所帶來的不良工(gong)藝(yi)質量問題。
LONGPRO平(ping)面加熱方案
1、優化燈絲熱能分布結(jie)構(gou): 通過(guo)改進(jin)燈絲的(de)熱能(neng)分布結構,實現了類矩形加熱,與傳統的(de)雙尖(jian)形加熱方(fang)式(shi)相比,有效(xiao)減少了中間區(qu)域的(de)熱聚集(ji),避免(mian)了兩端溫度(du)不均勻(yun)的(de)問(wen)題。這一技(ji)術改進(jin)在晶圓片(pian)、電(dian)池片(pian)、金屬片(pian)等(deng)平面材料的(de)加熱過(guo)程中具(ju)有顯著的(de)效(xiao)果。
2、LONGPRO數據庫+光學運算: 結合(he)先進(jin)的(de)數據庫和光學運(yun)算技術,精確(que)計算出陣(zhen)列布燈的(de)距離與(yu)高度比(bi)例,以確(que)保在晶圓表面均勻分布的(de)紅外(wai)輻(fu)射能(neng)量,從而進(jin)一步(bu)提升(sheng)加(jia)熱(re)效(xiao)果(guo)。這種(zhong)精密的(de)設計能(neng)夠確(que)保在加(jia)熱(re)過(guo)程中不同區域的(de)溫(wen)度分布相對均勻,提高了生產效(xiao)率和產品質(zhi)量。
3、背面(mian)弧形光(guang)學反光(guang)曲率設計: 采用背面弧(hu)形光(guang)學反光(guang)曲率設計,對輻(fu)照場(chang)進(jin)(jin)行修正(zheng),進(jin)(jin)一步提高了整(zheng)個加(jia)熱(re)場(chang)的均(jun)勻性(xing)。這項技術的應用能夠有效避免不(bu)均(jun)勻的輻(fu)射熱(re)場(chang)現象,確保加(jia)熱(re)過程中的溫(wen)度(du)分布(bu)更加(jia)均(jun)勻。
4、精確的溫度控制系統:我們(men)配備了先(xian)進的電控系統和非接觸式測(ce)溫(wen)探頭,實(shi)現(xian)了閉環控制(zhi)。這意(yi)味著他們(men)能(neng)夠實(shi)時監(jian)測(ce)材料表面的溫(wen)度(du)(du),快速響應并調(diao)整加熱功率,以減少溫(wen)度(du)(du)過(guo)沖或不足(zu),從(cong)而有效預防(fang)可能(neng)導(dao)致工(gong)藝問題的溫(wen)度(du)(du)波動。這種精確的溫(wen)度(du)(du)控制(zhi)系統是確保(bao)加熱過(guo)程中溫(wen)度(du)(du)分(fen)布均勻的關(guan)鍵(jian)。
紅外線輻照均(jun)勻,精度誤差:≤±5%
LONGPRO紅外線(xian)均(jun)勻加熱(re)模塊(kuai)在實現(xian)平(ping)面(mian)(mian)高均(jun)勻度(du)加熱(re)方面(mian)(mian)取得了(le)顯著的進展。通過優化(hua)熱(re)能分布結構(gou)、光學運算設計、反光曲(qu)率調整以及(ji)精確的溫度(du)控制系(xi)統,他(ta)們有效解決(jue)了(le)平(ping)面(mian)(mian)加熱(re)過程中的溫度(du)不均(jun)勻性(xing)問題,為(wei)工業生產提(ti)供了(le)可(ke)靠的解決(jue)方案。